超精密ダイヤモンド工具研削盤
特徴
・回転テーブル(C軸)回転精度:20nm(実測値)空気静圧
・同一マシンでスカイフ研磨、砥石研削の両立
・振動の無い砥石スピンドル、空気静圧軸受
・10nmステップのバックラッシレスの微細送り
・輪郭精度50ナノ以下のダイヤモンド工具
リニアモーター送り精度 20ナノ指令の応答性
装置内部
機械装置仕様
| 最小設定単位 | ストローク | |
|---|---|---|
| X 軸 | 10nｍ(ナノ) | 300mm |
| Y 軸 | 10nｍ(ナノ) | 250mm |
| Z 軸 | 10nｍ(ナノ) | 280mm |
| A 軸 | 0.0001deg | 360deg |
| C 軸 | 0.0001deg | 220deg |
| V 軸 | 0.001deg | 35deg |
| 幅 | 1,590ｍｍ |
|---|---|
| 高さ | 2,420ｍｍ |
| 奥行き | 1,730ｍｍ |
| 重さ | 4500kg |
| 最高回転数 | 4000 min-1 |
|---|---|
| スラスト剛性 | 400 N/μｍ |
| 主軸 | 空気静圧ビルトインモータ |
|---|---|
| C軸 | 空気静圧ＤＤモータ |
| X軸 | リニアモータ 1ナノスケール |
| Y軸 | リニアモータ 1ナノスケール |
| 機内検査 | 0.5マイクロの欠陥検査 |
研磨実績 事例
【単結晶ダイヤモンドバイト：アール18μｍ 輪郭精度：40nm】
【CBNボールエンドミル(2枚刃)：アール0.05ｍｍ ±0.001ｍｍ】
【NPDナノダイヤ：R0.5mmボールエンドミル】
【単結晶ダイヤモンド球面工具（球R10）】
【単結晶ダイヤモンドバイト (×2000)】
【NPDバイト (×2000)】
【CBNラジアスエンドミル (Ｒ0.02ｍｍ)】
【CBNエンドミル (コーナーＲ0.01ｍｍ)】
【セラミックチップ：全外周研削、2段面取り研削】
【セラミックチップ：R0.02ｍｍ】
【セラミックチップ：全周面取り 逃げ面】
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