超精密小型 マシニング/グライディングセンタ AUM-10

1マイクロ精度の超精密加工を手軽に実現しました。

本機の狙い

小型部品を対象とした超微細加工機です。
加工範囲はX軸100m、Y軸180mm、Z軸は130mmです。
X.Y.Z軸ともリニアモータを装備し、1ナノ分解能でスケールフィードバック制御します。

これにより一般的な精密マシニングセンタの加工精度より1桁上が狙えます。
エンドミルなどの切削工具に加え、最大径30㎜の砥石による研削加工もできます。
非鉄金属はもちろん、焼入れ鋼、超硬などの高硬度材の超精密研削加工に適します。

特徴

1. NC最小指令単位は10nm(ナノ)。
2. 3軸ともリニアモーター、1nmスケールを装備。
3. 加工精度 ±1μmレベルの実現。
4. 同クラスの加工機としては低価格を実現。
5. 光学、半導体向けの小型金型加工に最適。

仕様

1. CNC3軸 最小指令分解能: 10nm(ナノ)
2. 40000min-1  ビルトインスピンドル
3. 1μmレベル精度(加工範囲100㎜*180㎜)
4. 超微細加工と研削加工を兼ねた加工機
5. 精度最優先: ガイド軸と主軸は同一線構造
6. タッチプローブによる機内計測

各軸はサブマイクロレベルに機内で精度調整しています

1.各軸ストローク

X軸: 100㎜
Y軸: 180㎜
Z軸: 130㎜

2.スピンドル

回転数: 40,000min-1
ビルトインモーター HSK-E25

3.ATC

工具本数: 6本

4.最大装着工具

φ8エンドミル
φ30 軸砥石

5.機内計測装置

タッチプローブによる機内計測(オプション)
計測繰り返し精度 ±1μm

機械精度(実測値です)

繰り返し位置決め精度

X軸 ±0.04μm
Y軸 ±0.06μm
Z軸 ±0.10μm

位置決め精度

X軸 ±0.2μm/100mm
Y軸 ±0.25μm/180mm
Z軸 ±0.3μm/100mm

加工精度

被削材 A5056 φ15mm円柱の外径切削
回転数 18000min-1
送り 30mm/min
切削方法 XY補間による円弧切削
刃物 φ6mmエンドミル
加工物の真円度 0.5μm

タッチロープによる機内計測

【 計測繰り返し精度 ±1μm 】

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